钨灯丝扫描电镜

发布时间：2021-07-23

产品型号：DM750

所属分类：电子显微镜

描述：DM750钨灯丝扫描电镜  3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE）  翻开式预对中灯丝，方便更换  不少于8个可扩展接口，可接 WDS、EDS、BSE、EBSD等多种探测器

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详情介绍

产品特点：

3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE）

翻开式预对中灯丝，方便更换

不少于8个可扩展接口，可接 WDS、EDS、BSE、EBSD等多种探测器

技术指标：

分辨率	3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE）
放大倍数	5倍-300000倍，可调
电子枪	预对中钨阴极灯丝
加速电压	0～30kV，连续可调
自动调整功能	自动对中、聚焦、亮度、对比度、消像散
探测器	二次电子探测器、背散射电子探测器、红外CCD，束流测量装置
真空系统	抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵。样品室最高真空度优于9X10-3Pa。抽真空时间：≤4分钟
样品台	五轴样品台：行程：X=70mm,Y=50mm,Z=60mm，R=360°，T=-10°～+70° 较大样品直径: Ф210mm；较大样品高度：60mm；驱动方式：马达驱动；样品台承重：2kg 其他功能：碰撞报警功能。
能谱仪	探测器：硅漂移探测器有效晶体面积：30mm2 元素探测范围：B(5) ~ Cf(98) 分辨率：Mn Kα≤129eV @100,000cps 较大输入计数率 >1,000,000cps 定量分析计数率 >100,000cps 1个探测器，2个图像通道图像分辨率：最大8K（可调节） X射线扫描分辨率：最大8K 应用定性及定量分析方法具有图谱采集功能
溅射仪	离子溅射仪工作原理：磁控溅射可选靶材：金，铂，金钯合金，铅，银，铜，铬，锑等全自动操作，简单易用，非常适用钨灯丝、台式扫描电镜等溅射电流自动调整——设定溅射电流后，系统自动调节真空度，从而达到设定的溅射电流，调整时间＜5s，波动范围＜±5%；无需按“实验”键调整溅射电流、无需操作“进气阀”。真空室：φ128×100高硅硼玻璃溅射时间自动记忆——同类样品一次设定即可；参数改变自动调整——溅射过程中可以随时调整溅射电流和溅射时长，系统自动计算叠加，无需终止溅射过程；工作完成自动放气；样品台高度调节1秒完成；溅射过程可以利用曲线显示，清晰直观。极限真空：小于1Pa 软硬件互锁，防误操作，安全可靠溅射电流高于50mA，停止溅射过程；真空泵工作时，系统无法进行放气操作；镀层均匀，导电性良好
选配探测器	BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等

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